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> 2021年2月
PECVD SiNx 薄膜应力的研究
博主
2021-02-16
半导体技术精帖
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PECVD SiNx 薄膜应力的研究摘要 等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子...
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