ASM Furnace,先晶半导体立式炉管介绍（含ppt附件）

先晶半导体设备(上海)有限公司是一家外商独资企业，隶属于ASM International N.V.它的总部设在比尔特霍芬，荷兰。ASM国际及其附属公司通过其在美国，欧洲，日本和美国的工厂提供晶圆加工，组装和包装的生产解决方案。公司拥有强大的技术基础，一流的生产设备，合格的员工队伍和训练有素的战略性分销网络。

ASM中国有限公司成立于2001，专注于前端半导体设备市场在中国。

WIP Station

WIP station包含一组Carousel，共有三层，每一层能置放8个晶舟（每个晶舟可放25片芯片）。

WIP station共可容纳24个晶舟(600片芯片)。

操作欲进入到Carousel须过装设在WIP侧面的操作门。

Robot Section

Robot藉由气密门隔离WIP和Reactor模块〔Open仅当Loading和Unloading时〕。

Robot传送芯片从WIP到Reactor boat加载位置。

Reactor Module

Reactor Module是个小型装置，包含Reactor tube，Boat elevator，3个Boat position corousel和所有电子及供气系统零件供应此模块。

Reactor carousel配件，提供最大3个石英Boat的位置。

如同Carousel旋转，移动Boat到三个位置之一。

‧Load position：相对于Robot位置，提供芯片加载位置。

‧Process position：当Boat移动到Reactor tube下面，能够被Boat Elevator升起进到制程Tube。

‧Cooldown position：当制程结束时，Boat elevator将Boat降下，再旋转至此位置冷却Boat中之芯片〔大约15分钟〕，避免芯片过热，在传送过程中导致破片。

气体系统被架构给予特殊处理，不是整合在模块柜中，就是包含在气体柜中，建构在Reactor模块侧面。

       泵浦系统给予低压制程，由