为什么IC是方的晶圆却做成圆的?
来源:吴川斌的博客
最近看到台积电的3nm晶圆厂确定选址在台湾南部科学工业园区台南园区的消息,报道中的一张贴图引起了老wu的兴趣。
图片显示的是台积电的工作人员手捧晶圆的照片,晶圆是圆形的,我们见过的IC都是方形的,把晶圆做成圆形的岂不是浪费材料吗?如下图所示,感觉晶圆周围那些光刻不全的IC都没法用了…
晶圆(英语:Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体,一般晶圆产量多为单晶硅圆片。
为什么晶圆是圆形的?这要从制造材料说起。
首先由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过切片、抛光之后,就得到了单晶硅圆片,也即晶圆。这单晶硅棒是圆柱形的,其切片形成的单晶硅圆片,也即晶圆自然也是圆形的了。
柴可拉斯基法
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