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PECVD SiNx 薄膜应力的研究

PECVD SiNx 薄膜应力的研究摘要 等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子...

炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记

博主2021-01-30半导体技术精帖294570
炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记
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LPCVD多晶硅(Poly)的形貌和显微结构研究

LPCVD多晶硅(Poly)的形貌和显微结构研究
        研究了低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅薄膜的形貌和微观结构与沉积条件的关系。   &nbs...

关于碳化硅SiC栅氧(Gate Oxide)以及NO 退火

关于碳化硅SiC栅氧(Gate Oxide)以及NO 退火
1. Introduction       我们生活在一个能源匮乏的世界,在这个世界上,工业化和全球化已经成为一种趋势加速了对资源的需求,现在大约每40年翻一番...

理解微电子中的FinFET结构

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转:一文看懂IGBT的七代发展史

转:一文看懂IGBT的七代发展史
来源:内容来自「英飞凌工业半导体」,作者:赵佳 ,谢谢。话说公元2018年,IGBT江湖惊现第六代和第七代的掌门人,一时风头无两,各路吃瓜群众纷纷猜测二位英雄的出身来历。不禁有好事者梳理了一下英家这些...

转:全方位解析SiC的产业化之路

转:全方位解析SiC的产业化之路
第一代半导体材料主要是指硅(Si)、锗元素(Ge)半导体材料,应用极为普遍,包括集成电路、电子信息网络工程、电脑、手机、电视、航空航天、各类军事工程和迅速发展的新能源、硅光伏产业中都得到了极为广泛的应...

用于取代IGBT的碳化硅(SiC)MOSFET 技术发展回顾

用于取代IGBT的碳化硅(SiC)MOSFET 技术发展回顾
碳化硅(SiC)是一种广泛使用的老牌工业材料,1893年已经开始大规模生产了,至今一直在使用。不过自然界中很难找到碳化硅,在陨石中的矿物莫桑石会含有碳化硅。由于碳化硅的硬度很高,碳化硅的主要用途是用作...

UPS有什么作用?是什么东西?

UPS有什么作用?是什么东西?
UPS,全名Uninterruptible Power Supply, 不间断电源。是一种将蓄电池与主机相连接,通过主机逆变器等模块电路将直流电压转换成交流电压的系统设备,可以保证电源的安全,为部分对...

[经验] 浅析SiC-MOSFET

[经验] 浅析SiC-MOSFET
SiC-MOSFET 是碳化硅电力电子器件研究中最受关注的器件。成果比较突出的就是美国的Cree公司和日本的ROHM公司。在国内虽有几家在持续投入,但还处于开发阶段, 且技术尚不完全成熟。从国内应用看...