0.18um LOGIC FLOW 问题参考答案

1.      ZERO OXIDE 的作用是什么？

第一是为后序的ZERO PHOTO时做PR的隔离，防止PR直接与Si接触，造成污染。

PR中所含的有机物很难清洗。

第二，WAFTER MARK是用激光来打的，在Si表面引致的融渣会落在OXIDE上，不

会对衬底造成损伤。

第三是通过高温过程改变Si表面清洁度。

2.      ZERO PHOTO的目的是什么？WAFTER MARK是否用光照？

ZERO PHOTO是为了在Si上刻出精对准的图形，ASML stepper system  requires a zero mark for global alignment purpose。WAFTER MARK不用光照，用LASER刻出WAFTER的刻号。

3.      STI　 PAD OXIDE 的作用是什么？厚薄会有什么影响？用什么方法生长？

NITRIDE的应力很大，直接淀积到SI上会在SI表面造成位错，所以需要一层OXIDE