Line 和 DUV 分别用什么样式的光阻？各个光阻特性如何？
To achieve sub-wavelength lithography results,resist rechnology - like the phase shifting masks,scan...
一张图读懂半导体芯片制程
一张图读懂半导体芯片制程来源：Technews科技新报常听到媒体在讨论台积电或三星的半导体技术正进展到几纳米，各位读者是否真的知道这代表什么意思呢？所谓的纳米制程对半导体业而言到底多重要，又与摩尔定律...
FD-SOI到底是什么？
来源：全球半导体观察当半导体工艺制程发展到22纳米时，为了满足性能、成本和功耗要求，延伸发展出来FinFET和FD-SOI两种技术。由于半导体龙头厂商英特尔主导推广FinFET技术，并得到晶圆代工大厂...
半导体集成电路PIE常识
1.何谓PIE? PIE的主要工作是什幺?答：Process Integration Engineer(工艺整合工程师), 主要工作是整合各部门的资源, 对工艺持续进行改善, 确保产品的良率（yie...
半导体芯片制造中 BPSG 是什么？
硼磷硅玻璃（boro-phospho-silicate-glass，BPSG）：这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法（SiH4+O2+PH3+B2H6，400oC~450oC）来制备。BPSG...
为什么IC是方的晶圆却做成圆的?
来源：吴川斌的博客最近看到台积电的3nm晶圆厂确定选址在台湾南部科学工业园区台南园区的消息，报道中的一张贴图引起了老wu的兴趣。图片显示的是台积电的工作人员手捧晶圆的照片，晶圆是圆形的，我们见过的IC...
ASM Furnace,先晶半导体立式炉管介绍（含ppt附件）
先晶半导体设备(上海)有限公司是一家外商独资企业，隶属于ASM International N.V.它的总部设在比尔特霍芬，荷兰。ASM国际及其附属公司通过其在美国，欧洲，日本和美国的工厂提供晶圆加工...
半导体行业入门学习笔记分享
硅片的制备： 生产半导体级的硅（SGS）1. 用碳加热硅石制备冶金级的硅 SiC(s)+SiO2(s)——Si(l)+SiO(g)+CO(g)2. 将硅提纯生成三氯硅烷 Si(...