当前位置:首页 > 2021年1月

炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记

博主2021-01-30半导体技术精帖264310
炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记
...

Implant SIMS笔记(离子注入机二次离子质谱笔记)

Implant SIMS笔记(离子注入机二次离子质谱笔记)
       首先,我们来看下什么是SIMS?        技术原理(https://w...

LPCVD多晶硅(Poly)的形貌和显微结构研究

LPCVD多晶硅(Poly)的形貌和显微结构研究
        研究了低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅薄膜的形貌和微观结构与沉积条件的关系。   &nbs...

关于碳化硅SiC栅氧(Gate Oxide)以及NO 退火

关于碳化硅SiC栅氧(Gate Oxide)以及NO 退火
1. Introduction       我们生活在一个能源匮乏的世界,在这个世界上,工业化和全球化已经成为一种趋势加速了对资源的需求,现在大约每40年翻一番...

理解微电子中的FinFET结构

...