CMOS器件进阶版讲解 （转）

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上一篇介绍了简单的MOS的历史和原理结构介绍，应该能够建立起比较基础的认识了，下面我们继续讲讲MOS的特性以及半导体人该关注的制程要点。

先简单回顾下MOS的重要参数开启电压，也叫阈值电压，英文叫做Threshold Voltage (Vth)。就是在栅极加电压，通过栅极氧化层的电场耦合效应在下面的沟道表面感应出与衬底/Well反型的掺杂，使得Source/Drain能够连接起来，我们称之为反型，而这个时候的栅极电压叫做开启电压(Vth)。所以很容易理解Vth跟GOX厚度/质量，以及衬底浓度有很大关系。(GOX越薄自然容易�„